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193nm 高分辨率消色差物镜

2018-10-15

1、实现193nm与可见光波段的色差校正。

2、高损伤阈值。

3、NA. 0.23 , 193nm波长分辨率 0.5μm,可见光波长范围分辨率为1.5μm。

 

193nm 高分辨率消色差物镜 193nm 高分辨率消色差物镜

 

 

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